Halil-ür Rahman Gö¬lü'nün güneybatı köşesinde yer alan cami, medrese, mezarlık ve Hz. İbrahim’in ateşe atıldığında düştüğü yerdeki makamdan oluşan bir külliye halindedir. Cami, Meyyafarikin Eyyubilerinden Melik Eşref Muzafferüddin Musa’nın emriyle h.608 / m.1211 yılında yaptırıl¬mıştır.
Cami’nin m. 504 tarihinde (Bizans dönemi) Urbısyus’un maddi yardımlarıyla monofizitler adına yaptırılan Meryem Ana Kilisesi üzerine inşa edilmiştir. Minare süslemeleri ve şerefedeki sütunların akantüs yapraklı başlıkları Bizans devri süsleme özelliklerini yansıtmakta ve minarenin 504 tarihli Meryem Ana Kilisesi’nin çan kulesi olabileceğini ihtimalini akla getirmektedir.
Caminin doğudaki harim kapısı üzerindeki kitabede “Peygamberlerin atası Halil-ür Rahman’ nın makamı olan bu cami h 1225ım 1810 tarihinde yapılmıştır” yazılıdır. Caminin batısına bitişik makam kısmının kapısı üzerindeki h. 1228/m 1871 tarihli kitabede Hz. İbrahim’in ateşe atılması ile ilgili ayet-i kerime yazılıdır. Eyyubiler döneminde inşa edilen Cami, 1810 tarihinde temelden başlanılarak önemli değişiklikler geçirmiş olmalıdır.
Halk arasında “Döşeme Camii” veya “Makam Camii” anılan bu Camii’ye Evliya Çelebi de “İbrahim Halil Tekkesi olarak bahsedir: “Tekkenin içinde bir kaynak vardır ki, Nemrud Hz. İbrahim’i atmak için yaktırdığı ateşin olduğu yerden çıkmıştır. IV. Sultan Murad, Badat Seferi’ne giderken su tekkeyi ziyaret edip iki balık yakalatarak kulaklarına birer altın küpe takmıştır. Bir adam yedi gece, yedi gün bu tekkeyi muradı olur derler. Saf suyundan içenler Allah’ın emri ile çarpıntıdan kurtulur. Bunun için Urfa halkında çarpıntı olmayıp sağlam olurlar.